洁净标准：
十级洁净标准：
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。
百级洁净标准：
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。
千级洁净标准：
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。
万级洁净标准：
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。
无尘车间的等级分类很多，每一级别的车间都会有其不同程度的适用范围，不同车间需求，不同的生产目的。
